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NS-PT10

NS-PT10
高纯压力变送器

专为半导体行业高纯工艺气体输送系统设计

接液部分:V+V

应用:半导体工艺气体输送系统、高纯介质传输系统、电子特气系统

电位器实时调节零点

高纯压力变送器

技术参数
参数Specifications技术指标 Technique data
压力范围Measuring ranges-0.1 / 0~0.5...1…5…10…20MPa
过载压力Overload pressures200%F.S
破坏压力Burst pressures300%F.S
工作方式Operational Mode表压,绝压,粗真空
测量介质Measuring Media-20-100℃ 无结冰
输出信号Output signal

0~5V

1~5V

0~10V

4~20mA

泄露测试Leakage test

1.0× 10kPa L/sec(atm STD cc/SEC)符合SEMI F1

接液部分Fitting materia

SUS 316L不锈钢,RA 5(≤0.13μm)

工作电压Operating voltage24VDC(12~32VDC)
综合精度Accuracy

±0.25%F.S(典值)

长期稳定性Long-term drift≤±0.1%F.S/ 年(典值)
工作温度范围Operating temperature range-20-85℃ 无结冰
绝缘阻抗Insulation resistance≥100MΩ(100VDC)
耐振性能Vibration resistanceIEC 60068-2-6 (5…2000Hz, 20g)
耐冲击性Shock resistanceIEC 60068-2-27 (50g, 11ms)
抗干扰EMC proofIEC 61000-6-2/3/4


接线定义

外形尺寸图

PT11外形.png

选型表

PT11选型.png

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