| 参数 | Specifications | 技术指标 Technique data | |||||||||
| 压力范围 | Measuring ranges | -0.1 / 0~0.5 ...1… 2MPa | |||||||||
| 过载压力 | Overload pressures | 200%F.S | |||||||||
| 破坏压力 | Burst pressures | 300%F.S | |||||||||
| 工作方式 | Operational Mode | 表压，绝压，粗真空 | |||||||||
| 测量介质 | Measuring Media | -20-100℃ 无结冰 | |||||||||
| 输出信号 | Output signal | 0~5V 1~5V 0~10V 4~20mA | |||||||||
| 泄露测试 | Leakage test | 1.0× 10kPa L/sec（atm STD cc/SEC）符合SEMI F1 | |||||||||
| 接液部分 | Fitting materia | SUS 316L不锈钢，RA 5（≤0.13μm） | |||||||||
| 工作电压 | Operating voltage | 24VDC(16~32VDC) | |||||||||
| 综合精度 | Accuracy | ±0.25%F.S（典值） | |||||||||
| 长期稳定性 | Long-term drift | ≤±0.1%F.S/ 年（典值） | |||||||||
| 工作温度范围 | Operating temperature range | -20-85℃ 无结冰 | |||||||||
| 绝缘阻抗 | Insulation resistance | ≥100MΩ(100VDC) | |||||||||
| 开关输出 | Switch Output | NPN/PNP X2 | |||||||||
| 开关容量 | Switching capacity | 100mA | |||||||||
| 旋转角度 | Rotation angle | 270° | |||||||||
| 防护等级 | IP protection | IP65 | |||||||||
| 显示位数 | Display digits | 4-digt LED | |||||||||
| 显示分辨率 | Display resolution | 1 digit | |||||||||
半导体行业